如何判断手套箱过渡仓的密封性能是否良好？

发布时间：2025-01-14|阅读：83次

一、压力测试法

正压测试：

将过渡仓与惰性气体源连接，关闭所有阀门，使过渡仓内部充入一定压力（例如高于外界大气压 10 - 20kPa）的惰性气体，如氮气。然后关闭进气阀门，使用高精度压力传感器持续监测压力变化。如果在一段时间内（如30分钟），压力下降不超过规定范围（通常允许下降值在 0.5 - 1kPa 左右），则说明过渡仓的密封性能良好。因为如果存在泄漏，气体就会从泄漏点逸出，导致压力下降。

真空测试：

对过渡仓进行抽真空操作，使内部压力达到一个较低的值，如 - 0.08MPa 以下。关闭真空泵阀门后，观察压力上升情况。如果在一段时间（如 15 - 20 分钟）内，压力上升幅度很小（例如上升不超过 0.005MPa），说明过渡仓密封良好。这是因为外界空气很难通过密封良好的过渡仓进入内部，所以压力上升缓慢。

二、氦质谱检漏法

原理：

氦质谱检漏仪是一种高灵敏度的检漏设备，其原理是利用氦气作为示踪气体。由于氦气的质量小、分子直径小且在空气中含量极低，当氦气通过泄漏点进入过渡仓时，很容易被检测到。首先将过渡仓置于一个封闭的检测环境中，在可能的泄漏部位（如阀门、密封接口等）周围喷吹氦气。如果过渡仓密封不好，氦气就会进入过渡仓，被连接在过渡仓上的氦质谱检漏仪检测到，从而确定泄漏位置和泄漏程度。

检测步骤：

将氦质谱检漏仪与过渡仓的抽气口连接，确保连接管道密封良好。开启检漏仪，使其预热并达到稳定的工作状态。然后，使用喷枪将氦气喷在过渡仓的各个连接部位、阀门、密封垫圈等可能泄漏的地方。如果检漏仪显示有氦气泄漏信号，并且信号强度超过设定的阈值（一般根据设备的精度和要求来设定，如 1×10⁻⁶ Pa・m³/s），就说明该部位存在泄漏，需要进一步检查和修复。

三、观察法和触摸法（初步检查）

观察：

在渡仓正常使用过程中，观察过渡仓的密封部位（如门的边缘、管道接口等）是否有雾气、水珠或者灰尘吸附等异常现象。例如，当手套箱内的惰性气体湿度较低，而外界空气湿度较高时，如果过渡仓密封不好，在密封部位可能会出现因空气进入而产生的雾气。另外，也可以观察在充入气体或者抽真空过程中，是否有明显的气泡从密封部位逸出。

触摸：

在过渡仓运行一段时间后，用手触摸密封部位，感受是否有气体泄漏产生的气流。这种方法比较简单直观，但只能检测比较明显的泄漏情况。例如，当存在较大的泄漏点时，在密封部位可能会感觉到有微风一样的气流。不过，这种方法对于微小泄漏的检测效果不佳。