手套箱的清洗

发布时间：2021-10-09|阅读：1377次

1. 准备好两瓶(满地) Ar (氩气)

2. 减压阀接“作业气”接口

3.手套箱开机

4. 关闭循环(真空泵开着) ,其他也都关闭。

5. 将副表气压调至 0.2MPa

6. 点触摸屏上“清洗” ,然后显现一个屏幕,只需点“初步”就行了。

7. 清洗初步后,调度减压阀副表使箱内相对压力为“ 0.3-0.5M Pa 即可

8. 设定清洗时刻为 30分钟(即 30分钟把 Ar 气放完,放不完,接着再点初步接着放,直到放完, )

9. 放完后自动跳出关闭,然后,点关闭,关闭清洗,再换一瓶 Ar 气,重复以上进程即可。 (一般一瓶氩气就行了)

10. 清洗后,翻开循环就可正常作业了。 (循环副表气压一般:0.4-0.6 MPa)