| 箱体 | ||
|---|---|---|
| 描述 | 材料：不锈钢1.4301 (SUS type 304), 厚度 3 mm 箱体净尺寸: 1800mm(L) x 950mm(W) x 1700mm(H) | |
| 体积 | 2.9 m³ | |
| 前窗 | 面板：8 mm厚安全钢化玻璃 或 10 mm厚度聚碳酸酯 (可供选择) 尺寸：1735mm(L) x 839mm(H) | |
手套口 | 硬铝合金材质或聚甲醛材料 (可供选择) 口径 220 mm, O型圈密封 | |
手套 | 材料：丁基橡胶 厚度： 0.4 mm 或 0.8mm(可供选择) | |
| 过滤器 | 出口和入口过滤器，过滤<0.3μm | |
| 照明 | LED照明位于前窗顶上部 | |
| 泄漏率 | 检漏依据 ISO 10648-2 ：1994 / EJ/T 1096-1999《密封箱室——第二部分：密封性分级以及相关的检验方法》中的含氧法和压力变化法对箱体进行检测，按照一级密封性< 0.001 vol%/h的标准进行最终验收测试。 | |
| GP20气体净化系统 | ||
| 描述 | 自动去除 H2O 和 O2 单净化柱系统，自动再生（可选GP200双净化柱） 密闭的气体循环管路 | |
| 使用电压 | AC 230 V / 50-60 Hz, 10 A 或AC 115 V / 50-60 Hz, 20 A （可供选择） | |
| 工作气体 | 工作气：N2、Ar 、He（纯度≥99.999%） 再生气：H2占5%—10%，其余的为工作气（纯度≥99.999%） | |
| 真空泵 | 规格：旋片真空泵, 配带油雾过滤器, 带气镇控制 流量：12 m³/h (7 cfm), 双基片,真空度< 2 x 10-3 mbar 或干泵(可供选择) | |
| 循环单元 | 无油高速风机 风量：80 m³/h | |
| 阀门 | KF40 高真空阀门 | |
| 泄漏率 | 检漏依据 ISO 10648-2 ：1994 / EJ/T 1096-1999《密封箱室——第二部分：密封性分级以及相关的检验方法》中的含氧法和压力变化法对箱体进行检测，按照1级密封性< 0.001 vol%/h的标准进行最终验收测试。 | |
| 控制柜尺寸 | 600mm（L） x 800mm（D） x 870mm（H） | |
过渡舱 | ||
大过渡舱 | 材料 | 不锈钢 type 304 (1.4301), 厚度 3 mm |
| 尺寸 | φ360mmx600mm(L) 或φ390mmx600mm(L)(可供选择) | |
真空度 | < 1 x 10-2 mbar | |
小过渡舱 | 材料 | 不锈钢 type 304 (1.4301), 厚度 2 mm |
| 尺寸 | φ150mm x 330mm(L) | |
真空度 | < 1 x 10-2 mbar | |
| 清洗系统 | ||
| 描述 | 设置好相应时间和压力，系统可以对箱体自动进行气体置换。 | |
分析仪 | ||
氧气分析仪 | 尺寸 | 205 mm（L） x 80 mm（W） x 60 mm（H） |
测量范围 | 0-1000 ppm | |
其他氧分析仪 | GE oxy.IQ™ Oxygen Transmitter | |
水分分析仪 | 尺寸 | 205 mm（L） x 80 mm（W） x 60 mm（H） |
测量范围 | 0-500 ppm | |
其他水分析仪 | GE VeriDri™ Dew-Point Transmitter | |
溶剂净化系统 | ||
描述 | 材料: 不锈钢1.4301 (US type 304), 厚度 3 mm 内部尺寸: 220mm(Φ) x 450mm(H) 优质活性炭 | |
洁净（100级）高效净化循环系统 | ||
描述 | 通过高效100级洁净环境过滤净化系统将箱体中的受控环境中的悬浮粒子数大于胡等于要求粒径的最大浓度限制（个/m³） ≥（悬浮粒子直径）5.0μm小于29个/m³ ≥（悬浮粒子直径）0.5μm小于3520个/m³ | |
| 符合国家标准 | 《洁净室施工及验收规范》GB50591-2010 《洁净室及相关受控环境》GB/T25915.3-2010 | |
地址：北京市怀柔科学城乐园大街9号
电话：400-086-8156